«Резиденты ОЭЗ Москвы участвуют в проекте по созданию технологии и разработке установки-литографа — уникального оборудования для производства микросхем. Научные работы по проекту проходят на базе НИУ МИЭТ при участии «Зеленоградского нанотехнологического центра» — резидента столичного технополиса. Производственные мощности кластера микроэлектроники столичной ОЭЗ будут задействованы для изготовления необходимых проекту образцов», ̶ рассказал Владислав Овчинский.
Установка сможет использоваться для производства чипов топологических размеров от 28 нанометров и ниже на базе российских синхротронов и плазменных источников излучения. Ученые МИЭТ в кооперации с резидентами ОЭЗ Москвы сегодня изучают возможность реализации технологии.
По словам проректора по научной работе МИЭТ Сергея Гаврилова, если эта работа завершится успешно, за ней последует опытно-конструкторский проект по созданию литографической установки.
«Резиденты ОЭЗ Москвы вносят значительный вклад в отечественную инноватику и микроэлектронную промышленность. Так, резидент «Зеленоградский нанотехнологический центр» уже вложил в проект более 300 миллионов рублей. Очередной шаг в этом направлении — участие в создании уникального литографа для печати чипов. Эта работа в кооперации с университетом МИЭТ позволит усилить компетенции и является важным шагом технологического развития для микроэлектроники России», — уточнил генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дёгтев.