В Санкт-Петербургском политехническом университете Петра Великого (СПбПУ) разработали технологию формирования кремниевых наноструктур с помощью наносферной литографии и установки плазмохимического травления. Стандартный метод предполагает изготовление кремниевых наноструктур в несколько циклов, для каждого из них требуется отдельное оборудование, что значительно удорожает процесс производства. Разработанная установка для производства наностолбиков предпологает единый цикл всех технологических этапов.
Побочным результатом разработки технологии стали кремниевые наноиглы для электровакуумных приборов, в основе которых холодные катоды. Они применяются в спутниковых передатчиках, в томографах, в самолетах, центрах связи, радиотехнике и телевидении. Разработанные холодные катоды на основе кремниевых наноигл превосходят по значениям тока, созданные на сегодняшний день аналоги, на 25%. Кроме того, они обладают высоким сроком службы, более чем в 40 раз превосходящим срок службы термоэмиссионных катодов.
Как правильно замечают наши читатели, разработать технологию мало — требуется ее внедрение, а это уже более сложный процесс. Бывает так, что технология действительно сильно удешевляет производство или оптимизирует техпроцесс, но ее внедрение становится невозможным из-за других процессов, которые надо перестраивать. В этом контексте было бы интересно посмотреть, как изобретения ученых из Питера оценивают в тех же Чебоксарах, где имеется производство панелей солнечных батарей.